3/2/2019,全球首家硅光子專業(yè)代工廠-新加坡Advanced Micro Foundry（AMF）宣布推出面向400G應(yīng)用的先進硅光子集成工藝平臺。該平臺包括了多層氮化硅/硅(SiN/SOI)波導集成工藝以及一系列適用于400G光通訊應(yīng)用的無源以及有源高速硅光子器件和工藝設(shè)計器件庫。

近年來，隨著云計算和大數(shù)據(jù)應(yīng)用對帶寬需求的不斷增長，目前數(shù)據(jù)中心架構(gòu)中普遍使用的100G光互聯(lián)技術(shù)已不能完全滿足需求，業(yè)界因此對400G甚至1.6T傳輸能力的需求日趨迫切。為了應(yīng)對這一需求，從而為大數(shù)據(jù)通訊提供先進的解決方案，AMF憑借多年來和客戶的深入合作，推出了可支持大帶寬和低功耗應(yīng)用的集成工藝平臺。

AMF總裁兼研發(fā)主管盧國強博士指出，“多年來，AMF基于對市場和客戶需求的考量，持續(xù)尋求硅光子集成技術(shù)的創(chuàng)新和突破。在2018年發(fā)布了基于28G波特率的100G硅光子PDK之后，AMF更近一步地推出了基于56G波特率的適用于400G光通訊的先進集成工藝平臺。AMF的技術(shù)團隊將全力提供技術(shù)支持以幫助客戶實現(xiàn)向新平臺的平穩(wěn)過渡�！�

該集成平臺克服了各種技術(shù)壁壘，旨在提供滿足數(shù)據(jù)中心帶寬擴展和5G應(yīng)用所需的至關(guān)重要的基本硅光器件，其中包括了帶寬高于32GHz的MZI調(diào)制器以及帶寬高于35GHz、暗電流低于100nA的高速鍺光電探測器。該高速MZI調(diào)制器的設(shè)計可通用于O波段和C波段，達到了62G波特率和4.6dB消光比的技術(shù)指標，并成功通過了項目驗證。 

新的平臺和器件庫，進一步擴展了AMF現(xiàn)有的硅光子集成技術(shù)能力，以及已被客戶廣泛采用的各種解決方案，例如：

- 基于ArF-193光刻技術(shù)的0.13μm的CMOS工藝平臺，可提供線寬小于100nm硅波導結(jié)構(gòu)以及更低的光學損耗；
- 先進的無源波導器件，包括低損耗耦合器，波分復(fù)用器，偏振分光器，偏振旋轉(zhuǎn)器，等；
- 基于多次離子摻雜以及多層金屬淀積技術(shù)的高速調(diào)制器，探測器，以及熱調(diào)制器；
- 多層氮化硅波導集成技術(shù)，以實現(xiàn)超低損耗的大規(guī)模光子集成線路，以及大工藝容差的波分復(fù)用器件；
- 基于多晶硅覆蓋層的低損耗光柵耦合器；
- 基于各種MEMS技術(shù)的適用于激光器-硅波導、光纖-硅波導光學封裝的低損耗耦合器件；
- 適用于光電子倒裝芯片鍵合的UBM以及焊球技術(shù)。
此外，AMF在過去的一年里有針對性地進行了大量的投資，以進一步縮短其流片周期、提高質(zhì)量、產(chǎn)能以及整體服務(wù)優(yōu)越性。

作為專注于硅光子技術(shù)的純晶圓代工廠，AMF將繼續(xù)推動其先進技術(shù)路線圖，以提供基于客戶需求的技術(shù)、平臺及業(yè)務(wù)解決方案，包括未來的800G、1.6T帶寬需求和OEIC封裝解決方案等。

AMF將于2019年3月5日-7日在美國圣地亞哥光纖通訊網(wǎng)絡(luò)展覽會亮相 （展位號為5440），重點推薦上述先進硅光子集成技術(shù)平臺。屆時歡迎眾位業(yè)界同仁、客戶及合作伙伴蒞臨洽談、指導。

AMF簡介
Advanced Micro Foundry (AMF) 是新加坡科技研究局微電子研究院的孵化公司，成立于2017年。作為硅光子領(lǐng)域的先驅(qū)研究機構(gòu)之一，AMF十多年來一直致力于硅光子技術(shù)以及產(chǎn)品的研發(fā)。AMF在核心研究發(fā)展方面始終保持均衡的努力，通過與國際頂尖高校以及各大跨國公司的學術(shù)合作和戰(zhàn)略性研發(fā)，建立并完善了硅光子技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的專利組合。 基于標準的200mm CMOS工藝，AMF開發(fā)出了多功能的硅光子平臺。迄今為止，AMF已開發(fā)出各類關(guān)鍵硅光子器件和集成線路，包括用于光通信的無源器件（如濾波器，陣列波導光柵等），以及高速有源器件（如高速調(diào)制器，光電探測器等），極大的促進了高性能硅光子光學模塊的發(fā)展，可以滿足不同市場領(lǐng)域合作伙伴的不同需求以及不同應(yīng)用。