9/8/2015,索爾維特種聚合物事業(yè)部,一家致力于為應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)最具挑戰(zhàn)性難題而研究、開發(fā)和生產(chǎn)高性能材料的全球領(lǐng)先供應(yīng)商,將在國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)期間,展示其豐富多樣的先進(jìn)解決方案,以滿足這個(gè)高科技行業(yè)對(duì)工藝和成本效益所提出的要求。
半導(dǎo)體、納米電子、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和晶圓以及光伏產(chǎn)品和先進(jìn)電子產(chǎn)品的相關(guān)領(lǐng)域,都嚴(yán)重依賴高純度、高技術(shù)性部件,這類部件大多數(shù)需要在潔凈室生產(chǎn)。典型的晶圓加工工藝由超過(guò)12個(gè)步驟組成,包括光刻、蝕刻、氣相沉積、化學(xué)機(jī)械拋光、氧化、離子注入與擴(kuò)散,并不斷重復(fù)。新的技術(shù)可以在很小的表面進(jìn)行更密集的模塊封裝。所有這些都需要材料在制造和使用過(guò)程中具有杰出的耐久性、耐化學(xué)和耐高溫性能。
“據(jù)SEMI全球半導(dǎo)體工廠預(yù)測(cè) (SEMI World Fab Forecast) 報(bào)告,2015年,半導(dǎo)體制造設(shè)備在新的、現(xiàn)有的前端設(shè)施上的投資將增長(zhǎng)11%,2016年增長(zhǎng)5%,全球超過(guò)20%的晶圓制造設(shè)施將落戶于臺(tái)灣。晶圓制造廠的資本開支可以很容易地超過(guò)100億美元,必須盡可能降低總體擁有成本,”索爾維特種聚合物亞太區(qū)總裁及執(zhí)行副總裁杜志仲博士表示,“我們致力于為安全高效生產(chǎn)最先進(jìn)的新一代產(chǎn)品提供最全面的創(chuàng)新材料,支持客戶在這個(gè)快速發(fā)展的行業(yè)實(shí)現(xiàn)雄心勃勃的投資、生產(chǎn)率和性能目標(biāo)!
索爾維在國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)展上重點(diǎn)亮相的產(chǎn)品包括Galden® (PFPE) 全氟流體,這是市場(chǎng)上最先進(jìn)的半導(dǎo)體測(cè)試、焊接和導(dǎo)熱液產(chǎn)品。針對(duì)柔性部件如關(guān)鍵密封應(yīng)用,索爾維則推出了超高性能Tecnoflon® 含氟/全氟橡膠(FKM/FFKM)。
Galden® 導(dǎo)熱液 (HT) PFPE是全系列惰性、介電性導(dǎo)熱介質(zhì),在所有氟化導(dǎo)熱液中的沸點(diǎn)溫度范圍最廣,從55°C ~ 270°C,滿足工作溫度介于-100°C ~ +290°C的應(yīng)用要求。由于具有出色的熱穩(wěn)定性、與各種金屬、塑料、橡膠和有機(jī)硅等材料具有化學(xué)相容性,不會(huì)與制造材料反應(yīng),也不會(huì)形成任何分解殘留,從而有助于防止腐蝕和卡泵。尤其是這些液體的化學(xué)物質(zhì)中不含氫,與密封和墊片復(fù)合材料中的碳?xì)浠衔锊粫?huì)產(chǎn)生親和作用。
特別是Galden® HT高沸點(diǎn)(HB)等級(jí)可以適應(yīng)沸點(diǎn)高達(dá)270°C的耐高溫鍋爐工作液,蒸發(fā)損失極低,同時(shí),通過(guò)替代蒸發(fā)速率通常較高的液體,還可以改善中等溫度工藝的加工效率。
Galden® HT有5只低沸點(diǎn)等級(jí)和4只高沸點(diǎn)(LB/HB)等級(jí)牌號(hào)可供,是需要嚴(yán)格控制溫度的晶圓加工工藝的理想導(dǎo)熱液選擇。而且該系列產(chǎn)品具有無(wú)毒性、不可燃、臭氧損耗指數(shù)為零的特點(diǎn),比許多競(jìng)爭(zhēng)性導(dǎo)熱液具有更高的環(huán)保穩(wěn)定性,并可以改善工作場(chǎng)所的安全性。
索爾維的Tecnoflon® 全氟橡膠(PFR)兼具高純度、耐化學(xué)腐蝕性、優(yōu)異的機(jī)械和密封性能,可用于如腔室、蓋、窗、氣體入口、配件和唇型密封圈,以及縱切閥、各種晶片傳送部件等關(guān)鍵應(yīng)用。兩種半導(dǎo)體特種等級(jí)具有出色的耐氧氣、耐氟等離子性能,粒子生成極低,出氣率低,在高達(dá)300°C時(shí),依然具有優(yōu)異的摩擦磨損性能(低摩擦、高耐磨損性能)。
“國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)是亞洲微電子制造業(yè)主要的行業(yè)盛會(huì),我們期待為尋求在這個(gè)特別的市場(chǎng)領(lǐng)域獲得并保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的設(shè)計(jì)人員、制造商和OEM展現(xiàn)我們的半導(dǎo)體材料組合所具有的高性能和生產(chǎn)率!彼鳡柧S特種聚合物半導(dǎo)體全球市場(chǎng)總監(jiān)David Ho表示。
其他可以很好滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的還包括Fomblin® PFPE、Algoflon® 聚四氟乙烯(PTFE)、Halar® 乙烯-三氟氯乙烯(ECTFE)、Hyflon® (PFA/MFA) 和Solef® 聚偏二氟乙烯等材料,可用于不管是晶片制造、流體處理和潤(rùn)滑劑,還是管道保溫、廢氣排放和廢棄物處置應(yīng)用。具有出色熱學(xué)性能、機(jī)械和化學(xué)性能,尤其適用于耐高溫和耐磨損部件的AvaSpire® 聚芳醚酮(PAEK)、KetaSpire® 聚醚醚酮樹脂(PEEK)和Torlon® 聚酰胺-酰亞胺(PAI)超級(jí)聚合物樹脂則進(jìn)一步補(bǔ)充了材料性能組合。
在9月2-4日國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)展會(huì)期間,索爾維材料和市場(chǎng)領(lǐng)域的專家將在南港展覽中心的一號(hào)館4樓1號(hào)展臺(tái)歡迎各位的來(lái)臨,共同探討半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)和面臨的挑戰(zhàn),分享公司豐富多樣的高成本效益的創(chuàng)新解決方案。
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