7/24/2018,光纖在線(xiàn)訊：見(jiàn)到余明斌老師，編輯最關(guān)心的問(wèn)題就是上海的硅光工藝線(xiàn)什么時(shí)候能夠啟用？余老師的回答是年內(nèi)就可以。目前大部分的設(shè)備招標(biāo)采購(gòu)工作已經(jīng)完成，還有一批正在進(jìn)行中。第一批采購(gòu)的設(shè)備8月中旬就開(kāi)始到貨。這些設(shè)備只是上海微系統(tǒng)所的硅光工藝線(xiàn)所需的一部分設(shè)備。事實(shí)上去年年底，編輯曾經(jīng)前往上海嘉定參觀(guān)了余老師他們正在建設(shè)中的工藝線(xiàn)。當(dāng)時(shí)除了部分前道工序，大部分后道工序的設(shè)備都已經(jīng)到位。余老師說(shuō)，基本上他們現(xiàn)在只要不涉及PN結(jié)的結(jié)構(gòu)，他們都可以做，也就是大部分無(wú)源器件和調(diào)制器等結(jié)構(gòu)都可以做。除了硬件設(shè)備，余老師他們還在集成工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)方面做了很多工作。他們的目標(biāo)是在設(shè)備到位的情況下能夠迅速形成流片能力。余老師告訴編輯，這條線(xiàn)是專(zhuān)門(mén)為硅光流片打造的，更具專(zhuān)業(yè)性，可以更好保障品質(zhì)。從他以往工作的經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，流片客戶(hù)最關(guān)心的無(wú)非是芯片質(zhì)量和流片周期兩個(gè)問(wèn)題。上海硅光工藝線(xiàn)可以很好解決客戶(hù)的擔(dān)心。


CFOL配圖：上海微系統(tǒng)所 余明斌

余老師說(shuō)，上海硅光工藝線(xiàn)是一條90nm的工藝線(xiàn)，可以滿(mǎn)足現(xiàn)在絕大多數(shù)硅光產(chǎn)品的流片需求。上海硅光工藝線(xiàn)的目標(biāo)就是打造共性的技術(shù)平臺(tái)，為客戶(hù)開(kāi)發(fā)硅光產(chǎn)品提供最大的方便。為此，他們打造了和國(guó)外類(lèi)似平臺(tái)同樣標(biāo)準(zhǔn)的元器件庫(kù)和工藝庫(kù)，可以同樣為客戶(hù)提供MPW（多客戶(hù)共用）和定制化的服務(wù)，而且他們還將不斷豐富自己的工藝庫(kù)和器件庫(kù)。

余老師告訴編輯，他們上海硅光工藝線(xiàn)不僅擁有第一流的設(shè)備，而且他們的核心工藝技術(shù)人員在硅光領(lǐng)域擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)�？梢韵嘈�，這條工藝線(xiàn)的建設(shè)，必將極大地促進(jìn)中國(guó)硅光產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。