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康寧推出新型光刻透鏡材料

光纖在線編輯部  2006-02-21 19:37:22  文章來源：綜合整理  版權(quán)所有,未經(jīng)許可嚴(yán)禁轉(zhuǎn)載.

導(dǎo)讀：

2/21/2006，康寧公司今天推出針對(duì)半導(dǎo)體工藝光刻193nm 偏振光應(yīng)用的高純度光學(xué)透鏡材料HPFS8650。HPFS8650對(duì)193nm的激光傷害有足夠的抵抗力，具有低的偏振導(dǎo)致雙折射，低compaction, 沒有expansion等優(yōu)越性能。此外這種材料具有改進(jìn)的折射率一致性，可以保證穩(wěn)定，可預(yù)期的工作性能。
關(guān)鍵字： 康寧
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