MEMS 正成為市場亮點
光纖在線編輯部 2002-10-06 16:34:53 文章來源：綜合整理 版權所有,未經(jīng)許可嚴禁轉(zhuǎn)載.
導讀：
10/3/2002, 市場調(diào)研公司In-Stat/MDR (http://www.instat.com)日前指出MEMS器件制造設備正在成為半導體設備市場領域的亮點。目前全球有60家左右的MEMS制造工廠，上百家MEMS領域的新興公司以及更多的大學和研究機構。他們構成了MEMS設備的市場基礎。無論兼顧MEMS的半導體生產(chǎn)設備還是專門用于MEMS的設備目前的銷售都還不錯。另訊，領先的MEMS器件制造商OMM, Inc.剛剛獲得MEMS領域的四項美國專利，依次是US# 6445841, US #6445840, US #6449406, US #6453083。(劉錚編譯)
關鍵字： MEMS
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