9/27/2004,本站消息，作者：劉育梁
　　摘要：本文討論了光纖光柵傳感器在組成大規(guī)模網(wǎng)絡(luò)時的關(guān)鍵技術(shù)問題，報告了中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所與北京品傲光電科技有限公司等單位在光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)方面的合作研究工作以及實施的若干重大應(yīng)用工程。

一、 引言
利用光纖光柵技術(shù)發(fā)展起來的光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)具有很多獨特的技術(shù)和應(yīng)用優(yōu)勢，比如：
1）全光測量及遠距離測量（可超過45公里）；不受電磁干擾；
2）準(zhǔn)分布式測量：單根光纖可以串接幾十個光纖光柵傳感器，只需占用解調(diào)設(shè)備（傳感網(wǎng)絡(luò)分析儀）的一個通道；
3）可以與光纖通信網(wǎng)絡(luò)融合，適合在廣闊的地域組網(wǎng)；
4）測量精度高：測溫精度± 0.5 ℃，測溫分辨率0.1℃；測量應(yīng)變分辨率1με；
5）實時性好：在大規(guī)模網(wǎng)絡(luò)中，所有監(jiān)測點的單次測量時間最快小于10ms；
6）傳感器檢出量是波長信息，屬于“數(shù)字”量，因此不受接頭損失、光纜彎曲損耗等因素的影響，對環(huán)境干擾不敏感；
由于這些獨特的優(yōu)點，自從1989年MOREY首次報道將光纖光柵用作傳感以來，光纖光柵傳感器受到了世界范圍內(nèi)的廣泛重視。研究工作重要集中在：
1）光纖光柵的封裝；
2）光纖光柵傳感器的可靠性和壽命研究；
3）交叉敏感的消除；
4）高功率密度的寬譜光源；
5）微小波長移動的并行、快速、低成本檢測等方面。
    經(jīng)過近十五年的發(fā)展，光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的基本技術(shù)已經(jīng)成熟，正在從實驗室走向大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用。目前研究的重點正在轉(zhuǎn)向組網(wǎng)和工程應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)問題。
    中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是國內(nèi)較早開展光纖光柵技術(shù)研究的單位。在國家“863”計劃的支持下，圍繞著高速率、長距離光通信系統(tǒng)中的光纖光柵色散補償器進行了攻關(guān)，解決和掌握了光纖光柵中心波長的精確控制技術(shù)、光纖光柵裂紋抑制、旁瓣抑制和時延抖動的控制技術(shù)。研制的光纖光柵色散補償器經(jīng)過了嚴(yán)格的光通信無源器件可靠性測試，應(yīng)用于華為技術(shù)有限公司的光傳輸產(chǎn)品中。
    從2000開始，中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所將其成熟的通信光纖光柵技術(shù)向光傳感領(lǐng)域發(fā)展，與北京品傲光電科技有限公司等單位組成戰(zhàn)略合作伙伴，在中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程重大項目《光纖傳感網(wǎng)與無線傳感網(wǎng)的融合》、北京市火炬計劃項目《光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)分析儀及光纖光柵傳感器》和上海市重大科技攻關(guān)項目《基于光纖光柵的分布式智能監(jiān)測系統(tǒng)》的支持下，進行了組網(wǎng)技術(shù)研究、低成本產(chǎn)品化開發(fā)和工程應(yīng)用研究。在國內(nèi)若干重大基礎(chǔ)建設(shè)中實現(xiàn)了光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的商用化。
    本文簡要報告光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的若干組網(wǎng)關(guān)鍵技術(shù)和重大應(yīng)用工程。

二、 光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)工作原理
1、光纖光柵的敏感機制
    用于傳感的光纖光柵一般是制作在光纖芯內(nèi)的布拉格反射器。它利用光纖材料的紫外光敏性，在纖芯內(nèi)部形成空間相位光柵。這樣具有一定頻譜寬度的光信號經(jīng)過光纖光柵后，特定波長的光沿原路反射回來，其余波長的光信號則直接透射出去。光纖光柵的結(jié)構(gòu)和光譜響應(yīng)如圖所示。

      

          圖1 光纖光柵的結(jié)構(gòu)和頻譜特性
Fig. 1 The Structure and Spectrum Characteristic of Fiber Bragg Grating

根據(jù)耦合波理論，上述反射波長可以表示為：
                                           （1）
    此即光纖光柵的中心波長方程，其中 為纖芯的有效折射率， 為光柵周期�？梢钥闯龈淖児鈻诺挠行д凵渎驶蛑芷诰湍芨淖児鈻欧瓷涞闹行牟ㄩL，利用這一特性可以將光纖光柵用于許多物理量的傳感測量。例如溫度和應(yīng)力是光纖光柵能夠直接敏感的兩個物理量。溫度引起光柵中心波長的漂移主要有兩個方面的原因：起主要作用的光纖材料的熱光效應(yīng)，起次要作用熱膨脹效應(yīng)。應(yīng)力的作用使光纖光柵受到機械拉伸而導(dǎo)致光柵周期的變化，另一方面由于石英材料的彈光效應(yīng)也會引起的光纖光柵有效折射率的變化。這樣光柵的中心波長漂移就反映了所處溫度場或應(yīng)變場的變化情況，從而達到測量的目的。由于光纖光柵中心波長隨溫度或應(yīng)變的變化關(guān)系是線性的，所以可以非常方便地應(yīng)用在傳感領(lǐng)域。
2、光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)
    光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)是集信號傳感和傳輸雙重作用于一體的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)形式，多個傳感器需要按照一定的網(wǎng)絡(luò)拓撲結(jié)構(gòu)組合在一起，并通過同一個光電終端來控制和協(xié)調(diào)工作，從而實現(xiàn)多個傳感信號的探測、識別和解調(diào)的功能。典型的光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)如圖所示，其基本功能部分可概括為：光發(fā)射和接收終端，傳輸線路，傳感器陣列和信號處理系統(tǒng)四個部分。
      
           圖2 光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)原理圖
Fig.2 Sensor Networks base on Fiber Bragg Grating Sensors.

    從寬譜光源或者連續(xù)掃描激光器出射的光經(jīng)由光耦合器或光開關(guān)后分別到達相應(yīng)通道的光纖光柵傳感器陣列。由于光纖光柵是以波長編碼的方式實現(xiàn)傳感測量，因此在傳感網(wǎng)絡(luò)中可以采用光開關(guān)切換各個通道，互相并無串?dāng)_。各個通道可以采用相同波長的光纖光柵傳感器陣列，從而有效的利用了頻帶資源。各傳感器反射回來的波長信號經(jīng)過耦合器和可調(diào)諧掃描濾波器后被光電探測器接收。當(dāng)傳感器陣列中某個傳感器所處的環(huán)境（如溫度場、應(yīng)變場等）發(fā)生改變時，該傳感器的中心波長就會發(fā)生漂移（一般為線性變化）；這種波長的微小漂移被探測、采樣并將采樣數(shù)據(jù)送到信號處理模塊進行計算分析，從而得到傳感器的相關(guān)參量和相應(yīng)的溫度或應(yīng)力的測量結(jié)果。
    用于信號解調(diào)的光源、濾波器、探測器和信號處理與控制模塊以及其它的相關(guān)光路元件通常集成在一個設(shè)備里，稱做光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)分析儀。

三、光纖光柵傳感器的大規(guī)模組網(wǎng)技術(shù)
    光纖光柵傳感技術(shù)的早期研究集中在傳感器本身的封裝、壽命、可靠性和各種解調(diào)技術(shù)的實現(xiàn)方面。當(dāng)用光纖光柵傳感器構(gòu)成網(wǎng)絡(luò)用于實際工程時，將會面對許多新的技術(shù)問題。與單獨的傳感器應(yīng)用不同，當(dāng)光纖光柵傳感器組成網(wǎng)絡(luò)時，必須進行網(wǎng)絡(luò)規(guī)劃和設(shè)計，以便解決好路徑備份、溫度補償、頻帶利用和功率均衡等問題。網(wǎng)絡(luò)規(guī)劃和設(shè)計也對傳感器自身提出了標(biāo)準(zhǔn)化的要求。
1、傳感器的互換性
    光纖光柵傳感器最重要的外部參數(shù)是初始波長以及波長隨外界物理量變化的系數(shù)。在不同的精確度情況下，光纖光柵傳感器的反射譜中心波長與被測物理量的對應(yīng)關(guān)系有多種數(shù)學(xué)表達方法。比如，在中心波長與外部物理量之間建立關(guān)系；在中心波長變化量與外部物理量之間建立關(guān)系；按線性情況來處理；按多項式形式來處理；初始波長還可以選在不同的溫度點上。由于沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)來約定，各研制單位和企業(yè)的產(chǎn)品采用各自選定的表征方法。目前也缺乏對整個波段內(nèi)的傳感器的工作波長進行規(guī)范的工作。所以傳感器的初始中心波長也是根據(jù)工藝而隨機確定的。這樣，作為實際產(chǎn)品，在規(guī)范的大規(guī)模組網(wǎng)工程中往往不具有可替換性。
2、應(yīng)變測量中的溫度補償問題
    由于光纖光柵的彈光系數(shù)只有熱光系數(shù)的1/10之一左右，溫度變化1°C引起的中心波長偏移與10με所引起的中心波長偏移相當(dāng)。因此在應(yīng)變測量中必須要剔除環(huán)境溫度變化對光纖光柵傳感器中心波長的影響，亦即要考慮應(yīng)變測量中的溫度補償問題，這在大型結(jié)構(gòu)的長期應(yīng)變監(jiān)測中尤為重要。但在這種實際應(yīng)用場合，只考慮傳感器作為獨立個體時的溫度系數(shù)沒有意義。因為在實際工程中，傳感器與被測對象復(fù)合后，它的溫度系數(shù)發(fā)生了很大的改變。而新的溫度系數(shù)與被測對象的材料性質(zhì)、安裝方法有很大關(guān)系，往往是不能預(yù)知的。
3、頻帶利用
    由于光源譜寬的限制、光纖光柵中心波長范圍的限制，以及光路上其他各種部件的工作波長的限制，光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)可用的頻譜帶寬是有限的。目前一般采用1310nm或1550nm波段。隨著DWDM光通信技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，1550nm波段的器件供應(yīng)商越來越多，成本越來越低，C波段已經(jīng)成為光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)組網(wǎng)的首選工作波段。
    考慮C波段從1525nm到1565nm的40nm的波長范圍內(nèi)，采用波分復(fù)用的方式在一條鏈路上串接光纖光柵傳感器。當(dāng)波長相臨的兩個傳感器的反射譜的中心波長接近到0.4nm時，解調(diào)系統(tǒng)就難以分辨。因此，在不考慮每個傳感器的量程（中心波長的移動范圍）的極端情況下，一條鏈路上可以串接的傳感器的最大數(shù)目是100個左右。實際上，在大多數(shù)情況下每個傳感器都應(yīng)有1nm的波長移動范圍，所以，實際組網(wǎng)時，一條鏈路的傳感器數(shù)目在30個左右。
如果把C、L和S波段全部利用，則每條鏈路可串接的傳感器數(shù)目可以大大增加。
4、功率均衡
    假定從解調(diào)設(shè)備里發(fā)出的光信號在整個工作波長范圍內(nèi)功率密度是比較一致的。不同頻率的光信號在光路的不同位置被反射回來，它們經(jīng)過的光器件、連接器或融接點的數(shù)量也不同，因此造成回傳的不同信號的功率水平不同。在比較惡劣的情況下，某些傳感器的旁瓣噪聲甚至?xí)�超過其他傳感器的有用信號，造成網(wǎng)絡(luò)可以識別的傳感器的數(shù)量下降。因此在工程組網(wǎng)時，必須進行正確的功率均衡設(shè)計。
5、光纖傳感網(wǎng)與無線傳感網(wǎng)的融合
    我國幅員遼闊，經(jīng)常有待監(jiān)測的同種類型的大型設(shè)施分布在一個很大的區(qū)域的情況。在實際工程中需要由若干個距離在10公里以上的子網(wǎng)組成更大規(guī)模的網(wǎng)絡(luò)，以便實現(xiàn)集中監(jiān)測。光纖傳感網(wǎng)絡(luò)盡管有利用光纖低損耗傳輸?shù)奶攸c可以實現(xiàn)長距離組網(wǎng)的優(yōu)勢，但在某些缺乏通信基礎(chǔ)設(shè)施的地區(qū)，沒有現(xiàn)成可用的光纜來實現(xiàn)子網(wǎng)的互通。在這種情況下，專門鋪設(shè)光纜的成本是非常昂貴的。因此在子網(wǎng)之間通過無線鏈路進行互通有很強的實用性。
    中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所與上海信息與微系統(tǒng)技術(shù)研究所在中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程重大項目及上海市重大科技攻關(guān)項目的支持下，開展了光纖傳感網(wǎng)與無線傳感網(wǎng)絡(luò)互相融合的研究，并正在將相關(guān)技術(shù)應(yīng)用于工程現(xiàn)場。
6、網(wǎng)絡(luò)、設(shè)備與器件標(biāo)準(zhǔn)
    對于大量的組網(wǎng)應(yīng)用，一個明確的網(wǎng)絡(luò)標(biāo)準(zhǔn)是非常必要的。它通過對網(wǎng)絡(luò)接口，頻譜劃分、功率均衡、線路備份、器件和設(shè)備質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)進行規(guī)范，可以保證各廠家產(chǎn)品的質(zhì)量、互換性和工程的可靠性。目前還缺乏這樣的網(wǎng)絡(luò)規(guī)范，使得在實際工程中，各廠家產(chǎn)品的互通沒有依據(jù)。解決這個問題可以加速光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的大規(guī)模推廣應(yīng)用。
在現(xiàn)階段，在同一個工程中選擇一家廠商進行網(wǎng)絡(luò)設(shè)計并提供所有設(shè)備對保證工程質(zhì)量是非常必要的。

四、若干特殊應(yīng)用對光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的技術(shù)挑戰(zhàn)
     目前，光纖光柵傳感器及其網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的成熟度，已經(jīng)達到了能滿足大部分橋梁、大型建筑和管道的健康監(jiān)測的水平。然而，各個行業(yè)的應(yīng)用需求是層出不窮的。在某些特殊應(yīng)用需求中，光纖光柵傳感器網(wǎng)絡(luò)仍然面對著一定的技術(shù)挑戰(zhàn)。
1、0.1℃精度的光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)
    盡管大量的科學(xué)研究表明，光纖光柵中心波長與環(huán)境溫度或所受應(yīng)變有非常好的線性關(guān)系，但當(dāng)它與各種封裝材料結(jié)合后，其線性度會有下降。特別需要指出的是，即使在線性度好于0.999的情況下，由于封裝材料自身的遲滯特性，對同一物理量的正反行程的測量也會略有不同，進而引入一定的測量誤差。此外，考慮到不少解調(diào)設(shè)備的波長重復(fù)性在10pm量級，當(dāng)它與上述傳感器組成網(wǎng)絡(luò)后，要實現(xiàn)諸如0.1℃精度的溫度探測來滿足地質(zhì)、化工等領(lǐng)域的很多應(yīng)用依然是一個挑戰(zhàn)性的工作。
2、大規(guī)模網(wǎng)絡(luò)的~KHz以上高頻采樣 
    在傳感器的響應(yīng)頻率之內(nèi)，光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的采樣速度決定于解調(diào)設(shè)備對光學(xué)頻譜的分析和處理能力。目前商用產(chǎn)品的解調(diào)速度在100Hz左右，可以滿足大部分應(yīng)用場合。不過還不能滿足地質(zhì)監(jiān)測等大規(guī)模網(wǎng)絡(luò)的實時高速采樣。由于F-P可調(diào)諧濾波器的調(diào)諧速度是有限的，光譜分析的數(shù)據(jù)處理量也非常大，所以在目前的基于F-P可調(diào)諧濾波器的解調(diào)方案基礎(chǔ)上進一步提高解調(diào)設(shè)備的速度有很大的困難。
3、在300℃環(huán)境中使用的光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)
    石油工業(yè)中的一類需求，是希望采用光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)探測油井的油況，以便決定采油方案，提高采油效率。這種使用環(huán)境要求光纖光柵傳感器能夠耐受300℃高溫。在普通環(huán)境中使用的光纖光柵傳感器一般是按照適用溫度在-40℃—+80℃來設(shè)計的。選用的普通單模光纖、封裝材料以及封裝方法都不能保證器件在300℃環(huán)境中使用。一般方法制造的光纖光柵在300℃溫度時，光柵將被擦除而不具有敏感性。因此為了使光纖光柵傳感器能在300℃環(huán)境使用，需要解決很多細致的技術(shù)問題。

五、重大工程應(yīng)用范例
    中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所與北京品傲光電科技有限公司合作，進行了光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)組網(wǎng)技術(shù)研究和工程化工作。已經(jīng)先后在深圳會展中心、國家西氣東輸工程、大慶輸送管道、國家游泳館、京杭大運河大橋工程、汾河特大橋工程等多項國家大型基礎(chǔ)設(shè)施的安全監(jiān)測中得到商業(yè)化應(yīng)用。也已應(yīng)用于飛機關(guān)鍵部件質(zhì)量評測、高爐部件質(zhì)量評測、電力系統(tǒng)安全監(jiān)測等許多領(lǐng)域。
1.深圳會議展覽中心施工監(jiān)測和長期監(jiān)測
    深圳會議展覽中心位于深圳市中心區(qū)中軸線南側(cè)，占地220000平方米，主體結(jié)構(gòu)跨度120多米，高度超過40米，是深圳市最大的單體建筑，也是目前國內(nèi)民用建筑中用鋼量最大的工程。其東西長540米、南北寬282米、總高度60米，總建筑面積為28萬平方米。鋼結(jié)構(gòu)工程是整個工程的核心工程之一，總用鋼量為3.3萬噸。
會展中心主體部分采用大跨度鋼梁結(jié)構(gòu)，如下圖所示。

     

            圖3 深圳會議展覽中心主體鋼結(jié)構(gòu)圖
Fig.3 Steel Framework of Shenzhen Conference and Exhibition Center

    鋼梁拱頂采用箱式鋼架結(jié)構(gòu)，中間懸空部分采用高強度拉桿連接。由于在施工過程中需要對拉桿施加一定的預(yù)拉力，并且在會展中心的后期使用過程中要對鋼梁及拉桿的應(yīng)力情況進行長期監(jiān)測，因此必須采用既能適用于短期高精度測量又可用于長期監(jiān)測的應(yīng)力監(jiān)測系統(tǒng)。光纖光柵傳感系統(tǒng)可以非常好地滿足這些要求。
    整個工程共采用北京品傲光電科技有限公司生產(chǎn)的光纖光柵貼片式應(yīng)變傳感器350只，光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)分析儀一臺。
    在實際工程中，有效地解決了光纖光柵傳感器這種精密的光學(xué)器件在傳統(tǒng)粗放式工程施工過程中的存活率問題，解決了整個結(jié)構(gòu)溫度場不均勻所帶來的溫度補償問題。施工時間段正處于深圳強臺風(fēng)期間，布設(shè)的光纖光柵傳感器網(wǎng)絡(luò)經(jīng)受了惡劣的自然環(huán)境的考驗。
    在布設(shè)光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)的同時，還采用了傳統(tǒng)的電阻應(yīng)變片進行同步的監(jiān)測。監(jiān)測結(jié)果表明，在施工過程中光纖光柵傳感器和傳統(tǒng)電阻應(yīng)變片的測量結(jié)果完全吻合。由于光纖光柵傳感器沒有電阻應(yīng)變片的零漂現(xiàn)象，在長期監(jiān)測中具有電阻應(yīng)變片無法比擬的優(yōu)勢。
2.國家西氣東輸管道監(jiān)測
    西氣東輸工程是國家戰(zhàn)略性工程。西氣東輸管道西起新疆塔里木天然氣田輪南，途經(jīng)新疆、甘肅、寧夏、陜西、山西、河南、安徽、江蘇、浙江、上海10個省市區(qū)，干線全長4000公里。據(jù)測算，西氣東輸工程靜態(tài)總投資約為1400億元人民幣，其中管道工程總概算投資約為400億元，因此輸送管道的安全狀況就尤顯重要。鋪設(shè)管道的沿途地質(zhì)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，在發(fā)達地區(qū)，管道還與公路要上下交叉，因此除了在施工過程中需要對管道的受力情況進行現(xiàn)場監(jiān)測外，還需要對其投入使用后的長期受力和應(yīng)變情況進行監(jiān)測。中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、品傲光電科技有限公司及中國科學(xué)院上海信息與微系統(tǒng)技術(shù)研究所共同合作，采用光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)在華東段實施了短期工程監(jiān)測和長期監(jiān)測。
         

                圖4 西氣東輸工程

4.3 汾河大橋安全監(jiān)測
    山西汾河大橋位于山西太原，又稱為太原西北環(huán)高速公路汾河雙矮塔斜拉橋，是國道主干線二連浩特至河口公路的重要組成部分。斜拉橋全長550米，主跨150米，墩高27米，塔高28米，橋面寬26米，雙向四車道，在同類橋梁中跨徑為全國之最、世界第二。山西汾河大橋結(jié)構(gòu)為單索面、兩塔固接、塔墩分離，據(jù)專業(yè)人員評價，是世界橋梁史上最難建造的橋梁之一。
         

                     圖5 山西汾河大橋
Fig.5 The Bridge over The Fen River in Shanxi Province

    本項監(jiān)測工程是為了輔助和改進對橋梁結(jié)構(gòu)所進行的人工監(jiān)測和評估工作。整個光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)由光纖光柵傳感鏈、傳輸光纜、光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)分析儀、以太網(wǎng)集線器和服務(wù)器組成。可以報告橋梁的工作溫度環(huán)境，報告橋梁的主要構(gòu)件的實際內(nèi)力分布和振動狀況，報告橋梁的主要構(gòu)件是否有損害，或累積性損壞，并且給橋梁的營運管理和維修決策者提供橋梁的警告信息。

六、總結(jié)
    光纖光柵傳感網(wǎng)絡(luò)技術(shù)已經(jīng)逐步成熟，正在從實驗室研究走向工程商用，中國作為經(jīng)濟高速增長、地域遼闊的發(fā)展中國家，大量的基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)為我們提供了一個遠遠超過其他國家的廣闊的應(yīng)用環(huán)境。以應(yīng)用牽引研究，是這個階段技術(shù)發(fā)展的新特點。

作者簡介：
劉育梁，男，1966年生，中國科學(xué)院“百人計劃”特聘研究員，博士生導(dǎo)師，中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所集成技術(shù)工程中心副主任。上海交通大學(xué)、長春理工大學(xué)和太原重型機械學(xué)院兼職教授。主要研究方向為：1、大規(guī)模光纖傳感網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵技術(shù)及其工業(yè)應(yīng)用；2、用于下一代智能光網(wǎng)絡(luò)的半導(dǎo)體光子芯片及其混合集成子系統(tǒng)。
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