10/15/2020，近日，光纖在線再迎新會(huì)員—中科院微電子所硅光平臺(tái)，這是國(guó)內(nèi)首個(gè)完整硅光工藝流片能力的平臺(tái)。自2017年5月開(kāi)始對(duì)外服務(wù)以來(lái)，累計(jì)為200余家客戶(hù)提供了MPW流片服務(wù)和定制化流片服務(wù)，為我國(guó)硅光子技術(shù)研究和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力的支持。
    中科院微電子所硅光平臺(tái)基于所級(jí)8英寸CMOS工藝線開(kāi)發(fā)了成套硅光技術(shù)，包括硅光流片工藝庫(kù)和基礎(chǔ)器件庫(kù)，制定了硅光子平臺(tái)的設(shè)計(jì)規(guī)則和工藝規(guī)范，形成了平臺(tái)的PDK，并于2017年5月正式發(fā)布了國(guó)內(nèi)首個(gè)具有完整硅光工藝流片能力的硅光平臺(tái)，同步啟動(dòng)首次MPW流片。 
 
    微電子所硅光平臺(tái)已實(shí)現(xiàn)與主流光子集成設(shè)計(jì)軟件Synopsys OptoDesigner實(shí)現(xiàn)了集成。用戶(hù)可以在軟件中調(diào)用IMECAS工具包，利用平臺(tái)PDK提供的器件庫(kù)，便捷、靈活地進(jìn)行符合平臺(tái)規(guī)范的硅光芯片設(shè)計(jì)。
 

    微電子所硅光平臺(tái)已對(duì)外提供包括無(wú)源器件和有源器件在內(nèi)的硅光全流程工藝服務(wù)。平臺(tái)主要工藝模塊包括220nm/150nm/70nm無(wú)源器件刻蝕工藝、高速調(diào)制器摻雜工藝、TiN加熱器電極工藝、鍺材料外延工藝、硅和鍺的歐姆接觸及金屬層工藝等。

    微電子所硅光平臺(tái)每年可對(duì)外提供4-6次MPW流片服務(wù)。同時(shí)為了滿(mǎn)足客戶(hù)的特殊工藝要求，可提供工藝定制服務(wù)。
 
    截止至2020年6月度，微電子所硅光平臺(tái)已為200余家客戶(hù)提供了MPW和定制化流片服務(wù)，客戶(hù)包括國(guó)內(nèi)外頂級(jí)科研機(jī)構(gòu)及行業(yè)龍頭企業(yè)，如：華為、清華、海信等。
    微電子所硅光平臺(tái)立志成為國(guó)內(nèi)專(zhuān)業(yè)的光子芯片加工中心，為國(guó)內(nèi)外硅光技術(shù)研發(fā)和硅光產(chǎn)品開(kāi)發(fā)提供最先進(jìn)的工藝支持。

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