4/02/2020，光纖在線訊，近日，ASML對外宣布： “受到新冠病毒疫情影響，公司提供給武漢以及其它地區(qū)客戶的EUV設(shè)備出貨，因旅游限制而被延遲，同時公司的供應(yīng)鏈出現(xiàn)了問題，目前已經(jīng)解決”。ASML這里提到的EUV設(shè)備的武漢客戶就是中芯國際。中芯國際在武漢有一座12英寸晶圓廠，并且此前國內(nèi)也只有中芯國際向ASML訂購了一臺EUV光刻機。



早在2018年初，ASML與中芯國際正式達成了首臺最先進的EUV光刻機的采購訂單，價值約1.2億美元，原本預(yù)計將于2019年底交付，2020年正式安裝，今年1月份，ASML CEO對外表示，已經(jīng)向荷蘭政府提交了中國客戶出貨的申請，但一直在審批，導(dǎo)致遲遲無法交付。很多媒體都認為這是受到了美國政府的干預(yù)。雖然，荷蘭政府否認了這一說法。

ASML首席執(zhí)行長Peter Wennink表示：“到目前為止，Covid-19的爆發(fā)對ASML的生產(chǎn)能力影響有限，此外，從客戶的角度來看，今年我們的系統(tǒng)需求沒有減少�！�

 

他解釋說，第一季度的短缺背后有三個關(guān)鍵的影響。第一起事件與延遲向武漢運送更傳統(tǒng)的深紫外線(DUV)光刻設(shè)備有關(guān)，武漢是新型冠狀病毒爆發(fā)的最初中心，那里的運輸和旅行限制已經(jīng)實施了數(shù)月。
Peter Wennink補充道：“其次，我們的供應(yīng)鏈出現(xiàn)了一些問題，目前已經(jīng)得到了解決。再加上第一款NXE:3400C (EUV)最終配置的周期比最初計劃的要長，這導(dǎo)致了一些發(fā)貨延遲�！�

據(jù)了解，中芯國際的7nm以下制程將使用ASML供應(yīng)的這臺EUV光刻機，目前中芯14nm已經(jīng)進入量產(chǎn)，12nm也已經(jīng)有了重大突破。

之前中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松博士首次公開了中芯國際N+1、N+2代工藝的情況，表示最新研發(fā)的N+1工藝相比自家研發(fā)的14nm工藝成本更低，性能提升20％、功耗降低57％、邏輯面積縮小63％，SoC面積縮小55％，而且最重要的是，這種工藝無需光刻機就能夠生產(chǎn)出7nm芯片。意味著，中芯國際的N+1工藝其實完全可以媲美臺積電的7nm工藝，只是在性能上還差一丟丟。由于成本降低，搭載N+1工藝芯片的手機或?qū)⒊蔀樾乱淮�的“性價比之王”。之后的N+2工藝性能和成本都更高一些。雖然N+1工藝沒有用到ASML的極紫外光刻機，也無需進口任何昂貴設(shè)備，但N+2工藝還是需要EUV光刻機進行技術(shù)支持的。中芯國際目前正計劃先逐步完善N+1技術(shù)，然后再進一步探索N+2技術(shù)，但此時ASML延遲向中芯國際交付EUV光刻機，應(yīng)該會在一定程度上影響N+2技術(shù)的研發(fā)進程。但如果可以向其他國內(nèi)廠商交付EUV光刻機，同樣向中芯國際交付也不會存在問題。

據(jù)悉，受新冠疫情的影響，ASML也下調(diào)了對于今年1季度的營收預(yù)期，減少了1/4左右，預(yù)期營收為24-25億美元。而根據(jù)ASML此前公布2019年財報顯示，2019年交付了26臺EUV光刻機，預(yù)計2020年交付35臺EUV光刻機，2021年則會達到45臺到50臺的交付量，是2019年的兩倍左右。ASML表示新冠病毒疫情沒有對他們的光刻機生產(chǎn)制造帶來影響，需求也沒發(fā)生變化，只是供應(yīng)鏈被限制，導(dǎo)致交付延期。ASML稱一季度無法確認的訂單將轉(zhuǎn)移到今年二、三季度中。

希望在疫情結(jié)束后，荷蘭政府向ASML發(fā)放新的出口許可證后，ASML能及時向中芯國際交付EUV光刻機。如果不能，那么我們可以名正言順地懷疑背后有美國在阻撓。