上海工研院2025年硅光MPW流片啟動(dòng)，席位有限，預(yù)訂從速！

光纖在線編輯部 2024-11-20 16:28:27 文章來(lái)源：本站消息版權(quán)所有,未經(jīng)許可嚴(yán)禁轉(zhuǎn)載.

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導(dǎo)讀：上海工研院2025年硅光MPW排期發(fā)布，歡迎預(yù)定流片！

11/20/2024，光纖在線訊，上海工研院(SITRI) 聯(lián)合中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、上海交通大學(xué)等國(guó)內(nèi)硅基光電子領(lǐng)域知名研究機(jī)構(gòu)，建立硅基光電子器件工藝平臺(tái)，擁有近5000平米潔凈室，具備90nm高精度光刻、晶體外延、介質(zhì)薄膜生長(zhǎng)、干法及濕法刻蝕、摻雜、金屬互連和在線工藝檢測(cè)等成套關(guān)鍵工藝能力，可以通過MPW、定制化流片、聯(lián)合研發(fā)等多種方式為各類高校、科研院所和企業(yè)提供服務(wù)，滿足客戶研發(fā)、中試、封裝等多樣化需求。

經(jīng)過多年沉淀積累，上海工研院硅光平臺(tái)的服務(wù)能力持續(xù)穩(wěn)定提升，日趨成熟，獲得了行業(yè)的高度認(rèn)可。2023年，90納米硅基光電子技術(shù)入選《2023年上海市科技進(jìn)步報(bào)告》，并在2024年入選中國(guó)光學(xué)工程學(xué)會(huì)“硅基光電子三年優(yōu)秀成果展”。隨著強(qiáng)烈的市場(chǎng)需求，為確保每一位合作伙伴都能及時(shí)把握住研發(fā)創(chuàng)新的先機(jī)，我們正積極調(diào)配資源，優(yōu)化流程，確保在2025年為客戶提供更加緊湊、高效的流片周期。

在此，我們誠(chéng)摯邀請(qǐng)各界同仁，無(wú)論是致力于前沿探索的學(xué)術(shù)團(tuán)隊(duì)，還是追求技術(shù)創(chuàng)新的企業(yè)伙伴，盡早規(guī)劃，把握時(shí)機(jī)，加入我們的流片計(jì)劃。2025年，讓我們攜手并進(jìn)，在硅基光電子的廣闊天地中，共同書寫屬于未來(lái)的輝煌篇章！

硅光MPW流片安排

硅光MPW流片工藝
      上海工研院共提供5套硅光工藝，包括90nm SOI無(wú)源工藝、180nm SiN無(wú)源工藝、SiN on SOI無(wú)源工藝、90nm SOI有源工藝和SiN on SOI有源工藝。具體工藝能力如下：

01.90nm SOI無(wú)源工藝
      目前，SOI無(wú)源集成工藝流片的最小工藝節(jié)點(diǎn)為90nm，具備三步硅刻蝕、TiN金屬加熱電極、單層鋁互連和深硅刻蝕等關(guān)鍵工藝能力，可實(shí)現(xiàn)各種高性能的硅光無(wú)源器件。

基本工藝能力如下表所示：

02. 180nm SiN無(wú)源工藝
SiN集成工藝流片具備LPCVD氮化硅、TiN金屬加熱電極、單層鋁互連和深硅刻蝕等關(guān)鍵工藝能力，可實(shí)現(xiàn)各種高性能氮化硅無(wú)源器件。

基本工藝能力如下表所示：

03. SiN on SOI無(wú)源工藝
SiN on SOI無(wú)源集成工藝流片，Si的最小工藝節(jié)點(diǎn)為90nm，SiN的最小工藝節(jié)點(diǎn)為200nm，具備了三步硅刻蝕、LPCVD氮化硅、TiN金屬加熱電極、單層鋁互連以及深硅刻蝕等關(guān)鍵工藝能力。該工藝結(jié)合了氮化硅和SOI平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)高性能的硅光子和氮化硅無(wú)源器件。

基本工藝能力如下表所示：

04. 90nm SOI有源工藝
目前，90nm SOI有源工藝流片的最小工藝節(jié)點(diǎn)為90nm，具備三步硅刻蝕、多步有源器件摻雜、鍺外延與TiN金屬加熱電極、雙層鋁互連和深硅刻蝕等關(guān)鍵工藝能力，可實(shí)現(xiàn)各種高性能的硅光無(wú)源、有源器件。

基本工藝能力如下表所示：

05. SiN on SOI有源工藝
SiN on SOI有源工藝流片，Si的最小工藝節(jié)點(diǎn)為90nm，SiN的最小工藝節(jié)點(diǎn)為200nm，具備三步硅刻蝕、多步有源器件摻雜、LPCVD氮化硅、鍺外延與TiN金屬加熱電極、雙層鋁互連和深硅刻蝕等關(guān)鍵工藝能力。該工藝結(jié)合了氮化硅和SOI平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)各種高性能的硅光無(wú)源、有源器件和氮化硅無(wú)源器件。