1/21/2022，光纖在線訊，據(jù)臺(tái)媒報(bào)道，英特爾宣布向荷蘭光刻機(jī)制造商ASML預(yù)訂了一臺(tái)仍在設(shè)計(jì)中的頂級(jí)EUV光刻機(jī)，為業(yè)界首家。這臺(tái)光刻機(jī)型號(hào)為High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)EXE:5200，是業(yè)界最強(qiáng)的光刻機(jī)，此刻尚未面世。

據(jù)悉，臺(tái)積電此前已經(jīng)向ASML采購(gòu)High-NA研發(fā)型EUV光刻機(jī)EXE: 5000，預(yù)計(jì)在今年內(nèi)會(huì)跟進(jìn)下單High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)。

此前，英特爾確定自己是ASML的High-NA研發(fā)型EUV光刻機(jī)EXE: 5000的第一個(gè)買家。

據(jù)ASML透露，High-NA研發(fā)型EUV光刻機(jī)EXE: 5000將在2024年前出貨，在手訂單已達(dá)5臺(tái)。量產(chǎn)型EUV光刻機(jī)EXE: 5200將在2024年推出，支持客戶的后續(xù)量產(chǎn)計(jì)劃。這款光刻機(jī)瞄準(zhǔn)了2025年后晶圓制造的最新工藝節(jié)點(diǎn)，例如2nm工藝。

英特爾期望能在晶圓制造領(lǐng)域超過(guò)龍頭臺(tái)積電。與此同時(shí)，英特爾還大量采用臺(tái)積電的晶圓代工服務(wù)，預(yù)期未來(lái)幾年會(huì)成為臺(tái)積電的大客戶之一。