3/31/2022，光纖在線訊，公眾號張通社日前以“中科米微—他們是追光者，用22年實現(xiàn)國產(chǎn)光通信MEMS芯片自主化”為題報道中科米微背后的故事，摘編整理如下：

技術(shù)起源：吳亞明博士和他的MEMS國家隊
2000年，吳亞明博士來到中科院上海微系統(tǒng)所，成為傳感器技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室Optical MEMS課題組組長。此前，他已在中科院上海光學(xué)精密機械研究所取得光學(xué)工程博士學(xué)位，并在中科院上海技術(shù)物理研究所從事了3年博士后研究工作。他來到這里，是因為一項國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃——“973計劃”。

“我們來自MEMS技術(shù)的國家隊，”吳亞明和團隊成員有深厚的使命感。抱著這樣信念，吳亞明開始了對光通信MEMS技術(shù)長達(dá)20多年的研究。

走在時代前面，就要自己開路。不知道工藝，就一遍遍嘗試實驗步驟；經(jīng)費不足，就接其它項目節(jié)省經(jīng)費；沒有資料，就遍查文獻尋找替代；人手不夠，就一人身兼數(shù)職……十二載寒來暑往，吳亞明領(lǐng)導(dǎo)的光學(xué)MEMS團隊在國內(nèi)率先研制出了多種光學(xué)MEMS器件樣品或樣機，還解決了MEMS原子鐘微型物理系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)問題。吳亞明先后發(fā)表相關(guān)學(xué)術(shù)論文近百篇，獲得國家發(fā)明專利近二十項。

“MEMS是一項工藝技術(shù)，工藝就要做成產(chǎn)品，技術(shù)就要獲得應(yīng)用，否則就不能體現(xiàn)MEMS的價值”。吳亞明自稱為“工匠”，不太愿意將自己稱作“科學(xué)家”。他認(rèn)為，這項技術(shù)如果再繼續(xù)在實驗室中做，就難以突破、難以實現(xiàn)MEMS技術(shù)的價值，于是響應(yīng)研究所領(lǐng)導(dǎo)的號召，決定和徐靜博士一起“下�！睂⑵渫葡虍a(chǎn)業(yè)化。

那一年，是2012年。

走出實驗室——徐靜博士率隊實現(xiàn)1到100
和老師吳亞明一樣，徐靜認(rèn)為自己也是一個MEMS工程師。

在中科院時，她不習(xí)慣被稱作“科學(xué)家”，喜歡彼此稱呼為“老師”。后來她成了中科米微的技術(shù)總監(jiān)，“始終不習(xí)慣被叫徐總”，這是她第一次到企業(yè)工作。

2004年，徐靜從浙江大學(xué)取得光學(xué)工程博士學(xué)位后，來到中科院微系統(tǒng)所，成為吳亞明課題組的博士后。在反復(fù)打磨工藝流程、設(shè)計試驗的過程中，徐靜逐步掌握了MEMS設(shè)計、仿真、流片、封裝、測試工作。在研究所，她參與多個國家項目，是個“多面手”。

很快，她學(xué)會了如何實現(xiàn)MEMS芯片的從0到1，但1到100應(yīng)該怎樣做？還是未知。

盡管前路未知，在時代浪潮的推動下，她和老師吳亞明還是堅定地邁出了光通信MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化這一步。

2012年，團隊離開了國家重點實驗室開始投身于MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化；

2013年，團隊做出了第一款打通整個工藝流程的光通信MEMS芯片樣品，突破了MEMS垂直梳齒制作工藝；

2015年，項目加入上海微技術(shù)工業(yè)研究院（SITRI）進行孵化，依托國內(nèi)MEMS代工線，打通了光通信MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化所需的完整產(chǎn)業(yè)鏈，通過了多家光通信器件公司的MEMS芯片測試與試用；

2018年，正式成立中科米微公司運營。

產(chǎn)業(yè)化的路，一走就是6年。這6年，不僅解決了芯片可靠性的問題，還突破了多臺階刻蝕、硅－硅鍵合、臺階套刻對準(zhǔn)、光學(xué)鏡面去膠處理以及光學(xué)MEMS特有的劃片、芯片后處理等技術(shù)難題。

不同于IC芯片代工廠已經(jīng)有成熟、標(biāo)準(zhǔn)的芯片設(shè)計、流片、代工和封測工藝，光學(xué)MEMS芯片的每個環(huán)節(jié)都缺乏規(guī)范、缺乏標(biāo)準(zhǔn)流程與工藝，一切都需要艱苦摸索、積累。在6年時間內(nèi)，團隊去到國外數(shù)次晶圓流片，雖然晶圓流片成功，但成本太高、生產(chǎn)周期長、需求響應(yīng)慢，不具備市場競爭力。為實現(xiàn)全國產(chǎn)化的芯片產(chǎn)業(yè)鏈，晶圓流片轉(zhuǎn)回國內(nèi)，然而經(jīng)歷了一次晶圓流片失敗后，對團隊打擊很大，當(dāng)時大家都有點心灰意冷。吳亞明偶然得知安徽有家MEMS代工廠可以流片，雖然他們此前并沒有此類光通信MEMS芯片產(chǎn)品的流片經(jīng)驗，吳亞明還是決定再試一次。

功夫不負(fù)有心人，這次晶圓流片成功了！后來，中科米微還在安徽注冊了分公司，與該代工廠保持了長期合作。

流片成功后，接下來就需要量產(chǎn)，把芯片產(chǎn)品推向市場這時候，需要有投資，需要成立公司，不過吳亞明和徐靜對這塊經(jīng)驗不足、人脈不廣，雖與投資人進行廣泛接觸，但還是未能拿到投資，不由得陷入困境。

船到橋頭自然直，一個叫吳凱文的人出現(xiàn)了。

職業(yè)經(jīng)理人吳凱文——推動中科米微起飛
2017年，吳凱文經(jīng)人介紹，認(rèn)識了吳亞明。當(dāng)時，吳凱文在光迅科技做了多年的供應(yīng)鏈管理工作，他或許有機會找到合適的投資人。

吳凱文先后拜訪了幾家光通信領(lǐng)域的投資公司，但都不了了之。這時，他忽然接到一個電話，是有一面之緣的投資人，兩人開始嘮嗑起手頭的項目。

投資人此前從未投資過光通信行業(yè)，但這支承擔(dān)過“863”、“973”項目的“國家隊”卻讓他興奮不已：這個團隊有技術(shù)，有產(chǎn)品，而且國產(chǎn)芯片在光通信MEMS領(lǐng)域還是有空白。最重要的是，他從吳亞明和徐靜身上，看到了一種克服萬難也要進行到底的信念，但他唯一的擔(dān)憂就是科學(xué)家是否有精力和經(jīng)驗去運營公司？

他們一起商量，認(rèn)為需要幫即將成立的公司找到一個合適的管理者，這個人既要熟悉項目和行業(yè)，也要能夠讓技術(shù)團隊和投資人充分信任。于是，他們把目光投向了一直在為這個項目奔波忙碌的吳凱文，正所謂“遠(yuǎn)在天邊，近在眼前”。

后來，吳凱文開玩笑地把自己幫科學(xué)家找投資人的行為稱作“拉郎配”。在民間，指把沒有感情基礎(chǔ)的男女撮合在一起。只是沒想到的是，這起“聯(lián)姻”竟成了自己的“感情基礎(chǔ)”。

吳凱文在光迅科技已經(jīng)工作了17年，2001年從天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院畢業(yè)后加入公司到現(xiàn)在，他從來沒有換過工作。但是，他也覺得自己內(nèi)心深處是一個渴望變化的人。

這些年，他就職了公司的生產(chǎn)、研發(fā)、質(zhì)量管理和供應(yīng)商管理等不同的崗位，也漸漸地從公司產(chǎn)品研發(fā)等“背后”部門走向“前臺”部門，而且比較自豪的是，他曾為公司從技術(shù)角度設(shè)計了一套供應(yīng)商評估管理系統(tǒng)，沿用多年，效果良好。

參與創(chuàng)辦一家公司，填補中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈上的空白，并且有望成為世界第一。對吳凱文來說，是一件讓人熱血沸騰的事！

2018年8月27日，中科米微（常州）電子技術(shù)有限公司正式成立。投資人專門設(shè)計了一套股權(quán)激勵機制，可以讓團隊每一個人都能分享公司的收益。

公司成立后的第一個產(chǎn)品是光通信MEMS微鏡芯片，它基于靜電垂直梳齒驅(qū)動的扭轉(zhuǎn)光學(xué)微反射鏡技術(shù)，采用MEMS硅－硅鍵合和硅深刻蝕工藝加工制造。

由于是不同于常規(guī)的裸Die交付，中科米微建立了整套完善的芯片質(zhì)量檢驗流程，產(chǎn)品進入市場后，很受歡迎�？蛻舨粩嘧芳佑唵危�并且合作的意愿強烈——這是中科米微團隊一開始不能想象的，那時他們因為客戶不愿透露需求，而費盡心思在黑暗中摸索。

光通信MEMS芯片在行業(yè)內(nèi)打出名氣后，中科米微又看到了激增的汽車輔助駕駛、服務(wù)型機器人和智能交通等領(lǐng)域?qū)�激光雷達(dá)的大量需求，于是，公司又將產(chǎn)品線擴展到MEMS掃描鏡芯片。目前，公司開發(fā)的毫米直徑的MEMS掃描鏡工藝比較成熟，光束水平和垂直掃描角度可分別達(dá)到60度和30度；4毫米直徑的掃描鏡產(chǎn)品已經(jīng)完成第一版流片。

做國產(chǎn)光通信MEMS龍頭

公司成立四年來，研制的MEMS光衰減器、MEMS光開關(guān)、MEMS光可調(diào)濾波器等智能光網(wǎng)絡(luò)核心組件所需的關(guān)鍵芯片實現(xiàn)了國產(chǎn)芯片的完全自主化。并擁有MEMS光芯片與驅(qū)動器技術(shù)、MEMS光芯片晶圓級測試技術(shù)、MEMS光芯片激光劃片及后處理系統(tǒng)、MEMS光芯片晶圓級封裝（WLP）等一系列的核心技術(shù)。

目前，公司和國內(nèi)外多個穩(wěn)定的流片代工廠，上下游的光通信器件、系統(tǒng)、應(yīng)用等十幾家公司展開合作，服務(wù)了光迅、昂納、博創(chuàng)、華為和中興等主要客戶。

從2019年至今，公司保持了穩(wěn)健的現(xiàn)金流。2019年，公司的營收有500多萬；2021年，公司的營收有2600多萬；預(yù)計2022年全年營收將突破5000萬，2023年預(yù)計達(dá)到1個億左右。

中科米微希望能夠做到國內(nèi)光通信MEMS芯片的市場第一。在此基礎(chǔ)上，還準(zhǔn)備開發(fā)WSS、OXC等高端芯片，占領(lǐng)國際高端市場。隨著產(chǎn)品經(jīng)理江火秀、工程經(jīng)理趙旭東、研發(fā)經(jīng)理李偉博士等優(yōu)秀團隊成員的加入，公司也有了更大的布局。

中長期看，中科米微在立足光通信MEMS芯片的基礎(chǔ)上，將逐步開發(fā)掃描鏡、傳感器等產(chǎn)品，這些產(chǎn)品可應(yīng)用在航空航天、石油勘測、軍工、車載、手機、虛擬現(xiàn)實、穿戴設(shè)備、智能導(dǎo)航設(shè)備、智能家居產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域，這是一個超200億規(guī)模的大市場。未來可期。