導讀:近日,23所“硅基高速光衰減器陣列集成芯片研發(fā)和產業(yè)化”項目順利通過上海市經信委驗收
3/29/2021,光纖在線訊 3月24日,上海市經濟和信息化委員會組織專家對23所光子集成研發(fā)中心承擔的2018年度上海市軟件和集成電路產業(yè)發(fā)展專項資金支持項目“硅基高速光衰減器陣列集成芯片研發(fā)和產業(yè)化”進行現(xiàn)場驗收。
驗收會上,評審組聽取了項目組匯報、財務決算報告,審閱了項目材料,經過提問、質詢討論,評審組一致認為該項目采用自研工藝方案,基于通用CMOS生產線開發(fā)了硅基可調光衰減器陣列器件,解決了載流子色散效應的低功耗高速驅動、應力雙折射消除,以及兼容CMOS工藝的厚膜SOI光波導實現(xiàn)等關鍵技術,并構建了綜合耦合測試平臺,有效支撐了產品的開發(fā)與測試驗證,一致同意該項目通過驗收。
“硅基高速光衰減器陣列集成芯片研發(fā)和產業(yè)化”項目所研制開發(fā)并量產的6通道 VOA芯片和48通道 VOA芯片,產品具備百納秒超高速響應速度和高集成度、插損低、功耗低等優(yōu)質特性;該項目獨有厚膜硅光技術所開發(fā)的城域波分復用網絡所需的PLC芯片,產品尺寸和成本比傳統(tǒng)器件成倍減小,并消除非集成方案光耦合界面引入的損耗和可靠性問題,將對光波分復用器市場產生深遠影響。
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