11/26/2024，光纖在線訊，隨著人工智能、新能源汽車、物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的蓬勃推進(jìn)，寬禁帶半導(dǎo)體材料——尤其是碳化硅（SiC）與氮化鎵（GaN）——憑借其卓越性能迎來了迅猛的發(fā)展勢頭。為了深入剖析并精確測量這些先進(jìn)器件的各項參數(shù)及特性，進(jìn)而提升其效率與可靠性，聯(lián)訊儀器最新推出了10x24高壓低漏電開關(guān)矩陣——RM1013-HV，能夠在小于300pA的偏置電流滿足3000V高壓測量，完成各種高精度的半導(dǎo)體表征測試。 
      

01,高精度自動測量

聯(lián)訊儀器最新推出了10x24高壓低漏電開關(guān)矩陣——RM1013-HV，能夠在小于300pA的偏置電流滿足3000V高壓測量，可配合高精度SMU完成各種功率半導(dǎo)體的表征測試。
      
▲RM1013-HV高壓低泄漏開關(guān)矩陣框圖

1）多路高壓靈活測量
支持2路高壓低泄漏電流通道輸入，整機(jī)支持10路輸入和24路輸出，提高參數(shù)測量的靈活性，節(jié)省成本和時間，可配合HVSMU/SMU/CMU/DMM等測量設(shè)備實(shí)現(xiàn)一套高
效的半導(dǎo)體參數(shù)自動測試系統(tǒng)。
2）高壓低泄漏電流
矩陣低泄漏電流小于300pA@3000V（高壓低泄漏電流通道），可配合高精度的SMU （如S3030F等）實(shí)現(xiàn)高精度自動測量。
3）支持快速測量
開關(guān)矩陣電流建立時間小于10秒（1V電壓輸入開始到電流<300fA的時間），可配合SMU （如S3030F，S2016C等）實(shí)現(xiàn)微弱電流信號的快速測量。
4）高繼電器觸點(diǎn)壽命
開關(guān)矩陣使用世界一流的干簧管制作的繼電器，機(jī)械壽命最高可達(dá)10^8次。
5）10MHz帶寬
開關(guān)矩陣優(yōu)化了C-V和DMM通道的傳輸帶寬，滿足高速測試的需求。
6）控制連接
支持通過USB線纜或LAN直接連接至RM1013-HV，實(shí)現(xiàn)通道閉合斷開的控制
可以通過編程(SCPI 指令)或GUI界面控制。界面GUI非常直觀和簡潔，可輕松配置通道的閉合、斷開進(jìn)行測量。
      
▲矩陣控制軟件GUI

02,通道配置

      

03，典型應(yīng)用場景

功率半導(dǎo)體參數(shù)測試
使用高壓低漏電開關(guān)矩陣可以與源表/高壓源表/LCR meter/數(shù)字萬用表等儀表無縫集成，組成強(qiáng)大的功率器件I-V、C-V參數(shù)自動化測試系統(tǒng)?？梢愿咝y量MOSFET/IGBT/BJT/Diode/電容/電阻等器件的I-V、C-V各項特征參數(shù)，例如MOSFET 的BVdss、Off-leak/Id(off)-Vds、 Id-Vds等。不同器件及不同測量項目之間通過編程控制自動進(jìn)行連接路徑切換，一站式完成測量。
      
▲矩陣路徑切換示意圖

在半導(dǎo)體功率器件測試中通常需要測量Ciss/Coss/Crss等高壓電容參數(shù)。高壓電容測量與I-V測量之間的路徑切換一直是測試中的難點(diǎn)，高壓切換矩陣中內(nèi)置了可切換的高壓電容測量偏置電路(HV Bias Tee)，可以有效地解決這個問題。
      
▲SiC MOSFET 電容特性

      
▲電容等效模型